发明名称 |
石英坩埚模具成型装置 |
摘要 |
本实用新型涉及石英坩埚模具成型装置,包括水冷模具,其特征在于:水冷模具内设有钢制保温模具,钢制保温模具上沿搭设于所述水冷模具的上端口上并焊接固定,钢制保温模具的圆周侧壁上和底部均匀钻设有多个真空孔,钢制保温模具的下方另设有真空腔,钢制保温模具的圆周侧壁外部均匀设有多个连通真空孔和真空腔的真空管,水冷模具与钢制保温模具之间形成水冷腔,水冷腔底部引出上水管和回水管,上水管的内口所在平面靠近水冷腔底面,回水管的内口所在平面靠近水冷腔顶面,水冷模具底部设有法兰盘,法兰盘中部设有延伸至真空腔的抽真空管路。其能够一次熔制石英坩埚在3000只以上,无需模具压盖,保证了坩埚真空压力,减少了真空层气泡的产生。 |
申请公布号 |
CN205473349U |
申请公布日期 |
2016.08.17 |
申请号 |
CN201620320174.0 |
申请日期 |
2016.04.14 |
申请人 |
锦州佑鑫电子材料有限公司 |
发明人 |
王震;孙兴旺 |
分类号 |
C03B20/00(2006.01)I |
主分类号 |
C03B20/00(2006.01)I |
代理机构 |
锦州辽西专利事务所 21225 |
代理人 |
赵月娜 |
主权项 |
一种石英坩埚模具成型装置,包括水冷模具,其特征在于:所述水冷模具内设有钢制保温模具,所述钢制保温模具上沿搭设于所述水冷模具的上端口上并焊接固定,所述钢制保温模具的圆周侧壁上和底部均匀钻设有多个真空孔,所述钢制保温模具的下方另设有真空腔,所述钢制保温模具的圆周侧壁外部均匀设有多个连通真空孔和真空腔的真空管,所述水冷模具与钢制保温模具之间形成水冷腔,所述水冷腔底部引出上水管和回水管,所述上水管的内口所在平面靠近水冷腔底面,所述回水管的内口所在平面靠近水冷腔顶面,所述水冷模具底部设有法兰盘,所述法兰盘中部设有延伸至真空腔的抽真空管路。 |
地址 |
121000 辽宁省锦州市松山新区工业园曙光街3号 |