阵列基板及其制作方法和显示装置

摘要

本发明涉及一种阵列基板及其制作方法，以及一种显示装置，上述阵列基板包括：采用铜形成于蚀刻阻挡层上的源漏金属层；采用铜合金形成于源漏金属层上的合金层，铜合金中的非铜金属比铜更易被氧化；形成于合金层上的钝化层；形成于合金层与钝化层之间氧化物层。通过本发明的技术方案，可以采用铜形成源极和漏极，同时使得源极和漏极与钝化层具有较高的结合强度，并且可以避免源极和漏极被氧化，还可以避免源极和漏极中的铜原子扩散。

主权项

一种阵列基板，其特征在于，包括：采用铜形成于蚀刻阻挡层上的源漏金属层；采用铜合金形成于所述源漏金属层上的合金层，所述铜合金中的非铜金属比铜更易被氧化；形成于所述合金层上的钝化层；形成于所述合金层与所述钝化层之间氧化物层，氧化物层是合金层中的原子与钝化层中的原子结合形成的。