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发明名称 VERFAHREN ZUR BEARBEITUNG EINER OBERFLÄCHE
摘要
申请公布号 DE69634194(D1) 申请公布日期 2005.02.24
申请号 DE19966034194 申请日期 1996.10.10
申请人 FSI INTERNATIONAL, CHASKA 发明人 BUTTERBAUGH, W.;GRAY, C.;FAYFIELD, T.
分类号 C30B33/12;B08B7/00;C03C15/00;C03C23/00;C23C16/02;C23F1/12;C23F4/00;C23G5/00;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/32;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C30B33/12
代理机构 代理人
主权项
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