| 摘要 |
본 발명은 매 지점마다 정지된 상태에서 토포그래피 신호 및 옵션 신호를 얻음으로써 신호들로부터 얻어지는 이미지의 신뢰성을 높일 수 있는 토포그래피 신호 및 옵션 신호 획득 방법, 장치 및 이를 구비하는 원자 현미경에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 측정 대상 표면에 대한 토포그래피 신호 및 옵션 신호 획득 방법은, 팁을 가진 캔틸레버를 사용하여 측정 대상의 표면에 대한 토포그래피 신호 (topography signal) 및 옵션 신호 (option signal) 를 얻기 위한 방법이다. 상기 방법은, 상기 측정 대상을 일정 위치에 정지시킨 상태로 상기 캔틸레버를 사용하여 특정 지점의 토포그래피 신호를 얻는, 토포그래피 신호 획득 단계; 상기 토포그래피 신호 획득 단계 후 상기 캔틸레버와 상기 측정 대상 간을 Z 방향으로 떨어뜨리는, 리프팅 단계; 상기 리프팅 단계 후 옵션 신호를 얻는, 옵션 신호 획득 단계; 및 상기 측정 대상 및 상기 캔틸레버 중 적어도 하나를 XY 방향으로 이동시키는, 이동 단계; 를 포함하며, 상기 토포그래피 신호 획득 단계, 상기 리프팅 단계, 상기 옵션 신호 획득 단계 및 상기 이동 단계가 적어도 1회 반복된다. |
