| 发明名称 |
廃ガスの精製方法および精製装置 |
| 摘要 |
本発明は廃ガスの精製方法および精製装置に関するものである。より詳しくは、化学気相蒸着反応によるポリシリコン蒸着工程を行った後に排出される廃ガスから塩化水素を除去し高純度の水素を分離することができる廃ガスの精製方法および精製装置に関するものである。 |
| 申请公布号 |
JP2016534867(A) |
申请公布日期 |
2016.11.10 |
| 申请号 |
JP20160536020 |
申请日期 |
2014.08.12 |
| 申请人 |
ハンワ ケミカル コーポレイション |
发明人 |
ギル・ホ・キム;ウォン・イク・イ;グイ・リョン・アン;ボ・キュン・キム |
| 分类号 |
B01D53/86;B01J23/42;C01B3/50;C01B3/56;C23C16/44;H01L21/205 |
主分类号 |
B01D53/86 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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