| 摘要 |
【課題】位相シフト法を利用した三次元計測を行うにあたり、計測精度の飛躍的な向上を図ることのできる三次元計測装置を提供する。【解決手段】基板検査装置１は、プリント基板２の表面に対し斜め上方から所定の縞パターンを投影する照明装置４と、プリント基板２上の縞パターンの投影された部分を撮像するカメラ５と、基板検査装置１内における各種制御や画像処理、演算処理を実施する制御装置６とを備えている。そして、格子板４ｂを所定位置に移動させ一旦停止させると共に、該格子板４ｂの停止期間中並びに該停止期間開始前の格子板４ｂの移動期間中の一部を含む所定期間において、プリント基板２に投影された縞パターンを複数回に分けて撮像し、該撮像された一連の画像データの各画素の輝度値を画素毎に加算して、その平均値を算出する。【選択図】 図１ |
