发明名称 Vorrichtung für elastische Wellen
摘要 Es wird eine Vorrichtung für elastische Wellen bereitgestellt, die in der Lage ist, eine hohe Schallgeschwindigkeit und einen niedrigen Verlust zu erreichen. Eine Vorrichtung für elastische Wellen 1, in der eine IDT-Elektrode 3 auf einem LiNbO3-Substrat 2 angeordnet ist, und ein Aluminiumnitridfilm 4 oder ein Siliziumnitridfilm gestapelt ist, um die IDT-Elektrode 3 zu bedecken, verwendet eine verlustbehaftete elastische Welle. Die IDT-Elektrode 3 besteht aus einem Metall, das aus einer Gruppe bestehend aus Cu, Al, Au, Pt und Ni ausgewählt ist. Die Euler-Winkel des LiNbO3 sind (0° ± 5°, θ, 0° ± 5°), und wenn X eine wellenlängennormalisierte Dicke der IDT-Elektrode 3 bezeichnet und Y den θ der Euler-Winkel bezeichnet, so wird Y, das der θ der Euler-Winkel ist, in Abhängigkeit vom Bereich der wellenlängennormalisierten Dicke der IDT-Elektrode 3, dem Bereich der wellenlängennormalisierten Dicke des Aluminiumnitridfilms 4 oder des Siliziumnitridfilms und der Art des Metalls, aus dem die IDT-Elektrode 3 besteht, auf einen bestimmten Bereich eingestellt.
申请公布号 DE112015001209(T5) 申请公布日期 2016.12.15
申请号 DE20151101209T 申请日期 2015.02.20
申请人 MURATA MANUFACTURING CO., LTD. 发明人 Kadota, Michio
分类号 H03H9/145;H03H9/25 主分类号 H03H9/145
代理机构 代理人
主权项
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