发明名称 |
半导体制造厂产品加工目录自动跟踪监测系统 |
摘要 |
本发明公开一种半导体器件制造厂客户产品加工目录自动跟踪监测系统,系统包括:①以客户为单位的产品制造信息存储装置;②生产线中各个机台的产能监控装置;③客户产品加工目录跟踪监测装置(MTS);④客户产品生产调度中心;和⑤客户产品出货信息预测和发布装置。 |
申请公布号 |
CN100376014C |
申请公布日期 |
2008.03.19 |
申请号 |
CN200410067942.8 |
申请日期 |
2004.11.08 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
俞晓华;向玉坤;施南全;刘慧甄;彭久晏;陈鼎崴 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01);G06Q90/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01) |
代理机构 |
北京市金杜律师事务所 |
代理人 |
李勇 |
主权项 |
1.半导体制造厂客户产品加工目录自动跟踪监测系统,其特征是,该系统包括:产品制造信息存储装置(①),用于存储各种要生产的产品信息数据;生产线中各个机台的产能监控装置(②),用于根据生产需要随时调整相关产品的加工量;产品加工目录跟踪监测装置(③),用于动态实时采集生产信息;客户产品生产调度中心(④),用于根据所述产品加工目录跟踪监测装置(③)所采集到的生产信息合理安排生产线上各个加工站点的生产任务,有效组织生产;以及,客户产品出货信息预测和发布装置(⑤),用于根据相关生产线的实际生产状态发布产品状态信息;其中,所述产品制造信息存储装置(①)与所述产能监控装置(②)、客户产品生产调度中心(④)相连接;所述产品加工目录跟踪监测装置(③)与所述客户产品生产调度中心(④)相连接;所述客户产品出货信息预测和发布装置(⑤)与所述产品加工目录跟踪监测装置(③)或所述客户产品生产调度中心(④)相连接。 |
地址 |
201203上海市浦东新区张江高科技园区张江路18号 |