发明名称 |
多层复合物及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种多层复合物及其制造方法。该多层复合物至少包括两复合物。每个复合物包括由介电材料制成的膜,且该膜具有前表面和后表面。该前表面包括凸起和凹陷表面部分的表面图案。另外,每个复合物包括第一导电层,该第一导电层沉积于该表面图案上。该导电层具有由该膜的表面图案形成的波纹状。该多层复合物能用于电能和机械能之间的转换,并由此用作一换能器。 |
申请公布号 |
CN101222016A |
申请公布日期 |
2008.07.16 |
申请号 |
CN200710300783.5 |
申请日期 |
2007.11.05 |
申请人 |
丹佛斯公司 |
发明人 |
莫哈梅德·Y·本斯利梅恩 |
分类号 |
H01L41/18(2006.01);H01L41/083(2006.01);H01L41/09(2006.01);H01L41/113(2006.01);H01L41/08(2006.01);H01L41/22(2006.01);H04R19/02(2006.01);H02N2/00(2006.01);F04B43/04(2006.01) |
主分类号 |
H01L41/18(2006.01) |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
陶凤波 |
主权项 |
1.一种多层复合物,包括至少两个复合物,每个复合物包括:由介电材料制成的膜,且该膜具有前表面和后表面,该前表面包括凸起和凹陷表面部分的表面图案,和第一导电层,该第一导电层沉积于该表面图案上,该导电层具有由该膜的表面图案形成的波纹状。 |
地址 |
丹麦诺堡 |