| 发明名称 |
PRECURSORS FOR SILICA OR METAL SILICATE FILMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20060065519(A) |
申请公布日期 |
2006.06.14 |
| 申请号 |
KR20050119363 |
申请日期 |
2005.12.08 |
| 申请人 |
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. |
发明人 |
LEI XINJIAN;RULKENS RON |
| 分类号 |
C01B33/20;C01B33/22;C08G77/04;C08G77/06 |
主分类号 |
C01B33/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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