積層フィルム、有機エレクトロルミネッセンス装置、光電変換装置および液晶ディスプレイ

摘要

基材と基材の少なくとも片方の面に形成された少なくとも１層の薄膜層とを備え、薄膜層のうちの少なくとも１層が珪素原子、酸素原子及び炭素原子を含有し、薄膜層の膜厚方向における薄膜層の表面からの距離と、距離の位置の薄膜層における珪素の原子数比、酸素の原子数比、炭素の原子数比との関係を示す珪素分布曲線、酸素分布曲線及び炭素分布曲線において、規定の条件を全て満たし、炭素分布曲線から求められる炭素の原子数比の平均値が、１１ａｔ％以上２１ａｔ％以下であり、薄膜層の平均密度が２．０ｇ／ｃｍ３以上である積層フィルムの提供。