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发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements
摘要
申请公布号 DE60038423(T2) 申请公布日期 2009.04.23
申请号 DE20006038423T 申请日期 2000.10.16
申请人 LUCENT TECHNOLOGIES INC. 发明人 LAYADI, NACE;MERCHANT, SAILESH MANSINH;MOLLOY, SIMON JOHN;ROY, PRADIP KUMAR
分类号 H01L21/302;H01L21/768;H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/311;H01L23/522 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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