具有分散铰链和多个支撑附件的微机电系统扫描镜

摘要

本发明提供一种微机电系统扫描镜设备，其包括一个扫描镜、旋转梳齿、固定梳齿、分散蛇形弹簧和锚。扫描镜和旋转梳齿由来自固定平面内和/或平面外齿的静电力驱动。通过多个支撑附件来将镜附着到旋转梳状结构上。多个蛇形弹簧充当将可移动结构链接到固定支撑结构的柔性铰链。

主权项

1.一种微机电系统MEMS扫描镜设备，其包含：一扫描镜；一梁体结构，其一端连接到该扫描镜上，该梁体结构延伸至远离该扫描镜的另一端；和复数个弹簧，每一者的一端被连接到该梁体结构，其中该等弹簧沿着该扫描镜的一旋转轴排列且至少一弹簧位于另一弹簧与该扫描镜之间。