微机械—电子系统技术惯性测量单元

摘要

本发明涉及一种用于导弹控制、工业测控、捷联惯导等领域中测量空间坐标系中三个轴的角速率和线加速度的三轴六自由度固态惯性传感器的组合，由三个空间轴角速率陀螺和三个空间轴线加速度传感器构成，各角速率陀螺和线加速度传感器均由采用微机械-电子系统技术的芯片构成的敏感电路、信号处理器、主放大器及零偏置控制器、非线性纠正器、量程扩展器、温漂补偿器、带宽扩展器组成，敏感电路输出端经信号处理器接至主放大器的输入端，零偏置控制器、非线性纠正器、量程扩展器、温漂补偿器和带宽扩展器相并联，其输出端接主放大器输入端。产品具有高可靠性和高封装坚固性，并具备自检测功能，可准确测量空间坐标系中三个轴的角速率和线加速度。

主权项

1、一种微机械-电子系统技术惯性测量单元，其特征在于具有三个分别用于测量空间X、Y、Z轴角速率的角速率陀螺(I、II、III)和三个分别用于测量空间X、Y、Z轴线加速度的线加速度传感器(IV、V、VI)，通过一块适配转接线路板(VII)使各角速率陀螺(I、II、III)和各线加速度传感器(IV、V、VI)并行设置，其中每一个空间轴角速率陀螺和每一个空间轴线加速度传感器均由采用微机械-电子系统(MEMS)技术的芯片构成的敏感电路(M)、信号处理器(6)、主放大器(10)以及零偏置控制器(7)、非线性纠正器(8)、量程扩展器(9)、温漂补偿器(11)、带宽扩展器(12)组成，敏感电路(M)的输出端经信号处理器(6)接至主放大器(10)的输入端，零偏置控制器(7)、非线性纠正器(8)、量程扩展器(9)、温漂补偿器(11)和带宽扩展器(12)相并联，其共同输出端接至主放大器(10)的输入端。