受热基板支撑器

摘要

本发明主要提供一种受热基板支撑器及其制造方法。在一个实施方案中，受热支撑器包括第一及第二板，其间置有一加热组件。该加热组件偏压向第一板，以对其提供良好的热传递。在另一个实施方案中，受热支撑器包括第一金属板，其连接至第二金属板并在中间包夹有至少一导件。一电阻性加热组件被相对于第一板的导件横向扣持。在本发明的另一方案中，提供有用以加热基板的加热室。在一个实施方式中，该加热室包括多个壁面，用以界定内部容积及多个受热支撑板连接至各壁面。这些支撑板大致彼此平行堆放于该内部容积内。一加热组件被压靠在每个第一支撑板上。

主权项

1.一种基板支撑器，用以支撑基板，包括：第一板，具有第一面，适于支撑该基板及相对的第二面；连接至第一板的第二板；和置于第一板的第二面与第二板的第一面间的加热组件，该加热组件被压靠向第一板。