支持多虚拟逻辑测试仪的半导体测试系统

摘要

用作多逻辑测试仪的单一半导体测试系统，每一个彼此独立和异步地运行，该系统包括主机计算机，通过执行测试程序控制一个半导体测试系统的整个运行；多个管脚单元，每个单元具有用于产生给待测量半导体装置的分配管脚的测试模式以及评估所得的待测量装置响应的装置；管脚单元总线，设置在所述的主机计算机与该多个管脚单元之间，用于传送地址、数据、控制信号和时钟；以及装置，用于当所述的主机计算机把一组选择地址放置在所述管脚单元总线上时配置对应于待测量装置的输入或输出管脚的管脚单元。

主权项

1、一种支持多个虚拟测试仪、用于并行地测试多个半导体装置的半导体测试系统，包括：主机计算机，通过执行测试程序控制一个半导体测试系统的整个运行；多个管脚单元，每个单元具有用于产生分配给待测量半导体装置的管脚的所述半导体测试系统的测试管脚的测试模式以及评估所得的待测量半导体装置响应的装置；管脚单元总线，设置在所述的主机计算机与该多个管脚单元之间，用于传送地址、数据、控制信号和时钟；安装板，用于安装多个待测量半导体装置以从所述多个管脚单元并行接收所述测试模式；以及用于针对所述多个待测量半导体装置自由并动态地重新配置所述多个管脚单元的装置，其中每个所述管脚单元的操作定时彼此同步或异步地相互独立。