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发明名称 Optisches System
摘要
申请公布号 DE10000193(B4) 申请公布日期 2007.05.03
申请号 DE20001000193 申请日期 2000.01.05
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 WAGNER, CHRISTIAN;BECKER, JOCHEN;XALTER, STEFAN;HOLDERER, HUBERT;BUENAU, RUDOLF;HUMMEL, WOLFGANG
分类号 G02B7/02;G03F7/20;G02B3/06;G02B3/12;G02B3/14;G02B13/00;G02B13/08;G02B17/08;G02B26/00;H01L21/027 主分类号 G02B7/02
代理机构 代理人
主权项
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