发明名称 氧化钪功能薄膜及其制备方法
摘要 氧化钪功能薄膜及其制备方法,涉及功能薄膜的制备方法。该薄膜的化学表达式为:RE<SUB>2x</SUB>:Sc<SUB>2(1-x)</SUB>O<SUB>3</SUB>,0<x<20;RE=Eu,Er,Dy,Nd,Yb;其中稀土掺杂相可以是单相掺杂或混合相掺杂。该薄膜采用溶胶-凝胶法制备,选用Sc<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>以及掺杂稀土离子氧化物为原料,采用表面活性剂为甘氨酸。膜厚利用镀膜的次数和溶液中络合剂及表面活性剂加入量进行控制。实验获得厚度理想的均匀致密薄膜。此方法工艺设备简单、原料易得、成本低。
申请公布号 CN101055318A 申请公布日期 2007.10.17
申请号 CN200610077606.0 申请日期 2006.04.11
申请人 中国科学院福建物质结构研究所 发明人 陈白泉;许颜清;洪茂椿
分类号 G02B1/00(2006.01);C09K11/78(2006.01) 主分类号 G02B1/00(2006.01)
代理机构 代理人
主权项 1、一种氧化钪功能薄膜,其特征在于:该薄膜的化学表达式为:RE2x:Sc2(1-x)O3,0<x<20;RE=Eu,Er,Dy,Nd,Yb;其中稀土掺杂相为单相掺杂或混合相掺杂。
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