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发明名称
SPANNUNGSUNGLEICHFÖRMIGKEITS-KOMPENSATIONSVERFAHREN FÜR EINEN HOCHFREQUENZ-PLASMAREAKTOR ZUR BEHANDLUNG RECHTECKIGER GROSSFLÄCHIGER SUBSTRATE
摘要
申请公布号
DE602004007017(T2)
申请公布日期
2008.02.07
申请号
DE200460007017T
申请日期
2004.09.08
申请人
OC OERLIKON BALZERS AG
发明人
SCHMITT, JACQUES;SANSONNENS, LAURENT;ELYAAKOUBI, MUSTAPHA;IRZYK, MICHAEL
分类号
H01J37/32;C23C16/00
主分类号
H01J37/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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