一种晶片型压电振子驱动的隔膜泵

摘要

本实用新型涉及一种晶片型压电振子驱动的隔膜泵，属流体驱动控制领域。腔体端部安装的隔膜和泵盖构成泵腔，施力件圆盘和挡板压接在隔膜两侧，施力件导杆端部装有连接块，连接块上装有压电振子，压电振子两端固定在左右壁板上；压电振子安装前为平直结构且长度大于左右壁板间距，安装后变成弯曲结构且压电晶片半径小于基板半径，晶片承受压应力；连接块左侧驱动单元I和右侧驱动单元II间的电压相位相反，两个驱动单元中压电振子的缩短量和伸长量相互制约。特色与优势：通过安装方法构造伸缩式压电驱动器，制作方法及工艺简单、成本低；压电片仅受压应力、且两驱动单元变形量相互制约，可靠性高；易通过增加压电振子数量和长度提高泵的流量和压力。

主权项

一种晶片型压电振子驱动的隔膜泵，其特征在于：泵体上设有左右壁板，左壁板上设有相互连通的导向孔和腔体，腔体侧壁端部经螺钉安装有隔膜和泵盖，泵盖上设有进出口阀，隔膜和泵盖构成泵腔；施力件圆盘和挡板经螺母和施力件导杆上的螺纹压接在隔膜两侧；导杆经导向孔伸出，导杆端部经螺母固定有连接块，连接块上经压块和螺钉安装有两组压电振子，压电振子两端经压块和螺钉分别固定在左右壁板上，压电振子由金属基板和压电晶片粘接而成；压电振子安装前为平直结构、且其长度大于左右壁板间的距离，压电振子安装后变成弯曲结构、且压电晶片曲率半径小于金属基板曲率半径，压电晶片承受压应力、金属基板承受拉应力。