掩模及其制造方法、有机电致发光装置及其制造方法、电子设备

摘要

本发明提供一种可以高精度地蒸镀掩模，并且没有由冲击等造成的破损的掩模、该掩模的制造方法、使用该掩模的有机电致发光装置的制造方法、利用该制造方法制成的有机电致发光装置及电子设备，该掩模是具备多个贯穿由(100)面方位硅构成的基板的贯穿孔(H)的掩模(M)，其特征是，在贯穿孔(H)的壁部(20)，设有相对于基板的主面(MT、MB)而沿垂直方向延伸的垂直部(20A)、从该垂直部(20A)以规定的角度倾斜而延伸的倾斜部(20B)。

主权项

1.一种掩模，是具备多个贯穿由(100)面方位硅构成的基板的贯穿孔的掩模，其特征是，在所述贯穿孔的壁部，设有相对于所述基板的主面沿垂直方向延伸的垂直部、从该垂直部以规定的角度倾斜而延伸的倾斜部。