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发明名称
Ferroelectric capacitor, method of manufacturing ferroelectric capacitor, and ferroelectric memory
摘要
申请公布号
EP1863069(A3)
申请公布日期
2008.07.16
申请号
EP20070010327
申请日期
2007.05.24
申请人
SEIKO EPSON CORPORATION
发明人
KIJIMA, TAKESHI
分类号
H01L21/02
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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