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发明名称 Method of fabricating a multipole lens, multipole lens, and charged-particle beam instrument equipped therewith
摘要
申请公布号 EP1463086(B1) 申请公布日期 2008.12.24
申请号 EP20040251594 申请日期 2004.03.19
申请人 JEOL LTD. 发明人 KAWAI, EIJI
分类号 H01J3/22;H01J37/10;H01J9/02;H01J9/14;H01J9/236;H01J37/141 主分类号 H01J3/22
代理机构 代理人
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