一种形成导电栓柱的方法

摘要

本发明公开了一种形成导电栓柱的方法，利用喷液法喷印具溶解绝缘材料能力的溶剂与导电材料的溶液形成导电栓柱，所获得的导电栓柱具有低电阻率的特性，能作为上下导体层的电性连接，而此制作方法可以同时达到沉积、图案化、蚀刻三个目的，明显简化制造过程。

主权项

1、一种形成导电栓柱的方法，其特征在于，包含如下步骤：提供一基材；形成一第一导电层于该基材上；形成一绝缘层于该第一导电层上；以喷液法喷印一溶液于该绝缘层的上表面，该溶液具有一溶剂与一导电材料，由该溶剂蚀刻该绝缘层形成穿孔；去除该溶剂，由该导电材料沉积形成一导电栓柱；及形成一第二导电层于该绝缘层与该导电栓柱之上，由该导电栓柱形成该第一导电层与该第二导电层的电性连接。