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发明名称 METHOD OF FORMING DIELECTRIC LAYERS WITH LOW DIELECTRIC CONSTANTS
摘要
申请公布号 EP1668683(A1) 申请公布日期 2006.06.14
申请号 EP20040770031 申请日期 2004.09.18
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 SACHDEV, HARBANS;LEUNG, GARKAY;RAPP, JOHN;MATERA-LONGO, MARY;SARMA, NARA;MEISNER, STEPHEN
分类号 H01L21/312;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/312 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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