发明名称 収差補正およびイオンダメージ軽減のためのイメージインテンシファイア管設計
摘要 本開示は、像面歪曲収差補正およびイオンダメージ軽減のためのイメージインテンシファイア管設計に関する。いくつかの実施形態において、フォトカソードからシンチレーティングスクリーンへの加速経路を定める電極は、加速経路の少なくとも一部に沿ってオフアクシス電子に関してより高い加速度を提供するように構成される。その結果、オフアクシス電子およびオンアクシス電子はほぼ均一にシンチレーティングスクリーンに集束し、像面歪曲収差を防止または軽減する。いくつかの実施形態において、電極は、シンチレーティングスクリーンによって放出または偏向された二次電子がフォトカソードに向かって流れ、ダメージを与えるイオンを形成することを防止するために、シンチレーティングスクリーン付近に反発電界を生じるように構成される。
申请公布号 JP2016502729(A) 申请公布日期 2016.01.28
申请号 JP20150530002 申请日期 2013.08.28
申请人 ケーエルエー−テンカー コーポレイション 发明人 ジアン シーマン;リー チン;ビエラック スティーブン
分类号 H01J31/50 主分类号 H01J31/50
代理机构 代理人
主权项
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