コンタクト要素およびその製造のための方法

摘要

本発明は、互いに離間した要素のコンタクト領域の導電接続のためのコンタクト点（９）を有するコンタクト要素（７）であって、コンタクト要素は１つ以上の堆積材料から完全に形成され、その堆積材料の少なくとも１つは導電性であることを特徴とするコンタクト要素（７）に関する。このコンタクト要素は特にリソグラフィー、電解めっきおよび成形法（ＬｉＧＡ）を用いて製造される。