| 发明名称 |
METHODS FOR PLANARIZATION OF GROUP VIII METAL-CONTAINING SURFACES USING OXIDIZING GASES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1459370(A2) |
申请公布日期 |
2004.09.22 |
| 申请号 |
EP20020787053 |
申请日期 |
2002.12.17 |
| 申请人 |
MICRON TECHNOLOGY, INC. |
发明人 |
UHLENBROCK, STEFAN;WESTMORELAND, DONALD, L. |
| 分类号 |
B24B37/00;C09G1/02;C23F3/00;H01L21/304;H01L21/3205;H01L21/321;H01L21/768;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/105;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/321 |
主分类号 |
B24B37/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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