显示板光检查的整合探针模组及其制造方法

摘要

本发明提供一种用于测试显示板的探针模组及其制造方法。该探针模组包括探针基座、设于该探针基座上的多个探针和将探针连接到测试装置的挠性电路板的高密度电路互连装置。各探针的尖端可以为尖的或斜的构形，或者是平头四角锥、半球状的构形。

主权项

1.一种探针模组，其特征在于包括有：探针基座；多个探针，设置于该探针基座之上；以及藉以将该多个探针连接到检查装置的电路互连装置。