空気中でのＸ線分析

摘要

Ｘ線分析装置は、第１のガス圧力環境内に集束電子ビームを生成する電子ビーム組立体を備える。サンプル組立体は、第２のガス圧力環境内にサンプルを保持するために使用され、サンプルは、電子ビーム組立体から電子ビームを受入れ、第２のガス圧力環境でのガス圧力は第１のガス圧力環境内のガス圧力より大きい。Ｘ線検出器は、第１のガス圧力環境内に少なくとも１つのＸ線センサを有するように配置される。第１のガス圧力環境内に少なくとも１つのＸ線センサ要素を有するＸ線検出器であって、センサ要素は、サンプル組立体の近位にある電子ビーム組立体の一部に取り付けられ、さらに使用時、電子ビームとサンプルと間の相互作用により発生するＸ線を受入れるように配置される。【選択図】図３