| 发明名称 |
OPTISCHES VERFAHREN ZUR UNTERSUCHUNG VON RELIEFS EINER STRUKTUR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT325328(T) |
申请公布日期 |
2006.06.15 |
| 申请号 |
AT20030810008T |
申请日期 |
2003.12.22 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
HAZART, JEROME |
| 分类号 |
G01B11/06;G01B11/24;(IPC1-7):G01B11/06 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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