Method for fabricating light guide layer in semiconductor substate

摘要

전송 신뢰성이 향상된 도광층을 포함하는 반도체 기판의 도광층 형성방법이 제공된다. 반도체 기판의 도광층 형성방법은 반도체 기판에 트랜치를 형성하고, 트랜치 내부 및 기판 상에 피복층과 프리(pre) 도광층을 형성하되, 프리 도광층의 양측 단부 중 어느 하나의 단부만 트랜치의 내측벽과 맞닿도록 피복층과 프리 도광층을 형성하고, 기판을 열처리하여 프리 도광층을 도광층으로 형성하는 것을 포함한다.