发明名称 OPTOELECTRONIC DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
摘要 본 발명의 발광소자 제조방법은 적어도 제1 표면과 제2 표면을 구비하며 제1 표면과 제2 표면이 서로 마주하는 기판을 제공하는 단계; 기판의 제2 표면상에 복수의 발광적층을 형성하는 단계; 복수의 발광적층을 덮는 지지층을 형성하는 단계; 기판의 제1 표면으로부터 기판 내에 에너지를 인가하여 복수의 불연속적인 제1 개질 영역을 형성하는 단계; 기판의 제1 표면에 산화층을 형성하는 단계; 및 복수의 불연속적인 제1 개질 영역을 따라 기판을 분리하는 단계를 포함한다.
申请公布号 KR101679312(B1) 申请公布日期 2016.11.24
申请号 KR20120063149 申请日期 2012.06.13
申请人 에피스타 코포레이션 发明人 호 쳉-시앙;첸 비아우-다르;치 리앙 생;첸 춘 창;팡 페이 샨
分类号 H01L33/02;H01L21/78 主分类号 H01L33/02
代理机构 代理人
主权项
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