发明名称 VACUUM PLASMA GENERATOR
摘要
申请公布号 EP1864313(A2) 申请公布日期 2007.12.12
申请号 EP20060705364 申请日期 2006.03.01
申请人 OERLIKON TRADING AG, TRUEBBACH 发明人 TUYMER, GERHARD;RAMM, JUERGEN;LENDI, DANIEL
分类号 H02M7/10;H01J37/32;H01J37/34;H02M7/5387 主分类号 H02M7/10
代理机构 代理人
主权项
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