偏光变换元件、光学照明装置、曝光装置以及曝光方法

摘要

一种偏光变换元件，可以将有约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的入射光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光，且可以防止光量损失。偏光变换元件(10)变换入射光的偏光状态成为所定的偏光状态。例如利用有如水晶旋光性的光学材料所形成，在周方向有厚度变化的分布。厚度分布，被设定使约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光。周方向被分割成有多个区域(10A～10D)，且这些区域中的任意2相邻区域的厚度不同。又，这些区域中的任意2相对区域有大约相等的旋光角度。

主权项

1.一种光学照明装置，对于根据光源供给的照明光，照明于被照射面的光学照明装置，前述光学照明装置的照明瞳面或与该照明瞳面共轭的面内被形成的光强度分布，关于在其所定的有效光源区域的第1方向偏光的平均特定偏光率以RSPh(Ave)表示，关于第2方向偏光的平均特定偏光率以RSPv(Ave)表示，满足RSPh(Ave)＞70％，RSPv(Ave)＞70％。