表面缺陷检测装置

摘要

本发明涉及检测领域，公开了一种表面缺陷检测装置，包含图像输入部以及检测部的表面检测装置包括有横摇机构和纵摇机构，使得载物台可以朝四个方向转动，一次装载工序能够检测被检测物的多个面，使用方便；此外，在横摇电机、纵摇电机及控制电路的配合下，能够方便地控制载物台的转动方向、摆角大小及速度等，能够采集到被检测物件的各个角度的图像，有利于检测部根据分别根据输入的各个角度摄取的原始图像，全面的对缺陷进行检测，有利于提高缺陷的检测精确度，另外，该装置的被检测物件的多角度图像获取以及图像检测可以有装置本身自动调节完成，可见应用本装置还有利于提高可用于自动化检测，提高检测效率。

主权项

1、一种表面缺陷检测装置，包括：图像输入部、以及检测部，所述图像输入部包括：支架台(1)；固定在所述支架台(1)上的支撑件(2)；通过调焦机构(3，4)连接到所述支撑件(2)上部、可沿着所述支撑件(2)上下移动的光学物镜(6)；位于光学物镜(6)下方的载物台(30)；其特征是，所述图像输入部还包括：所述光学物镜(6)上部连接的成像设备(5)、安装在所述支架台(1)和所述载物台(30)之间的横摇机构、纵摇机构以及控制电路，其中：所述横摇机构包括横摇支架(12)、横摇轴(13)以及横摇电机(17)，横摇支架(12)安装在支架台(1)上，横摇轴(13)的两端通过滚珠轴承座安装到横摇支架(12)，横摇轴(13)的轴向与光学物镜(6)的光轴方向空间垂直，横摇电机(17)安装到横摇支架(12)，其输出轴与横摇轴(13)连接用于驱动横摇轴(13)；所述纵摇机构包括纵摇支架(22)、纵摇轴(23)以及纵摇电机(27)，纵摇支架(22)安装在所述横摇轴(13)上可随横摇轴(13)转动，纵摇轴(23)的两端通过滚珠轴承座(24)安装到纵摇支架(22)，纵摇轴(23)与横摇轴(13)空间垂直，纵摇电机(27)安装到纵摇支架(22)，其输出轴与纵摇轴(23)连接用于驱动纵摇轴(23)；所述控制电路与横摇电机(17)、纵摇电机(27)电连接用于控制和驱动横摇电机(17)和纵摇电机(27)；所述载物台(30)安装在所述纵摇轴(23)上可随纵摇轴(23)转动；所述检测部与所述成像设备(5)相连接，所述检测部包括：梯度图像确定单元，与所述光学物镜(6)相连接，用于对所述原始图像的各像素点，分别计算每像素点在至少两个方向的梯度值，取其中最大值作为所述像素点的新的灰度值，得到梯度图像；二值化单元，用于对所述梯度图像，如果像素点的灰度值大于预定的阈值，则将所述像素点的灰度值赋值为：预定的第一灰度值，否则，将所述像素点的灰度值赋值为：预定的第二灰度值，获取二值化图像；细化单元，细化所述二值化图像，得到单线条的二值化图像，其中所述单线条的二值化图像中包括单线条的缺陷边缘；转换单元，用于将所述单线条的缺陷边缘，转换为闭环的缺陷边缘；缺陷判定单元，用于在所述原始图像中，比较所述闭环的缺陷边缘内任意像素点与所述闭环的缺陷边缘外侧附近的任意像素点的灰度值的大小，只有边缘内的像素点的灰度值小于边缘外的像素点的灰度值时，才判定所述闭环的缺陷边缘为：所述被检测物件表面的缺陷的边缘。