| 摘要 |
1. Устройство для нанесения функциональных слоев тонкопленочных солнечных элементов на гибкую лентообразную подложку путем осаждения в плазме низкочастотного индукционного разряда трансформаторного типа низкого давления, включающее реакционную камеру, выполненную в виде водоохлаждаемых металлических секций, с подвижной подложкой и разрядную камеру с охватывающими ее магнитопроводами с первичными обмотками, отличающееся тем, что устройство содержит разделенные газовыми шлюзами две и более реакционные камеры, через которые проходит тонкая и гибкая лентообразная подложка шириной не более 600 мм, приводимая в движение лентопротяжным механизмом, каждая реакционная камера выполнена из двух секций, каждая секция реакционной камеры включает патрубок вакуумной откачки, патрубок ввода химических реагентов («газовый душ»), расположенные на противоположных сторонах секции, и смотровые окна, и соединена с несколькими разрядными камерами (двумя и более), каждая разрядная камера выполнена в виде изогнутого отрезка трубы с охватывающими ее одним или несколькими магнитопроводами, таким образом, что открытые торцы разрядной камеры выведены через отверстия замыкания плазменного витка со стороны расположения патрубка ввода химических реагентов в секцию реакционной камеры так, чтобы образовывался замкнутый плазменный виток низкочастотного индукционного разряда трансформаторного типа.2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что лентообразная подложка изготовлена из металла, ткани, пластика или стекла. |
