| 发明名称 |
マルチゾーンプラズマ源、プラズマ生成方法、プラズマ処理システム |
| 摘要 |
A plasma source includes a ring plasma chamber, a primary winding around an exterior of the ring plasma chamber and multiple ferrites, wherein the ring plasma chamber passes through each of the ferrites. A system and method for generating a plasma are also described. |
| 申请公布号 |
JP6021809(B2) |
申请公布日期 |
2016.11.09 |
| 申请号 |
JP20130523145 |
申请日期 |
2011.06.30 |
| 申请人 |
ラム リサーチ コーポレーションＬＡＭ ＲＥＳＥＡＲＣＨ ＣＯＲＰＯＲＡＴＩＯＮ |
发明人 |
シャジイ・アリ;ゴッチョー・リチャード;ベンゼルーク・スーハイル;カウエ・アンドリュー;ナガルカッチ・シダース・ピー．;エントレー・ウィリアム・アール． |
| 分类号 |
H05H1/46;H01L21/3065 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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