发明名称 |
微型二维扫描镜 |
摘要 |
本案涉及一种微型二维扫描镜,包括:支架,其由金属条围成一个框体,具有两条侧臂;反射片,其被两条对称分布的弹性臂悬置在所述框体内,所述弹性臂的一端连接所述反射片,另一端连接所述支架的侧臂;压电片,其设置在所述支架的侧臂上,用于在电场作用下产生逆压电效应,从而驱动反射片旋转。本案解决了一维和二维扫描镜扫描频率低、结构复杂、加工难度大的问题;整体结构简单,在一种驱动源、单片压电片下实现反射镜的二维偏转扫描,易于微型化;成本低廉,采用金属基底和激光刻板工艺即可完成基底的加工,利于大规模批量生产。 |
申请公布号 |
CN205720868U |
申请公布日期 |
2016.11.23 |
申请号 |
CN201620380556.2 |
申请日期 |
2016.04.29 |
申请人 |
中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 |
发明人 |
马玉婷;钟金凤;严心涛;吴云良;陈忠祥;裴智果;王策 |
分类号 |
G02B26/08(2006.01)I |
主分类号 |
G02B26/08(2006.01)I |
代理机构 |
北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 |
代理人 |
史霞 |
主权项 |
一种微型二维扫描镜,其特征在于,包括:支架,其由金属条围成一个框体,具有两条侧臂;反射片,其被两条对称分布的弹性臂悬置在所述框体内,所述弹性臂的一端连接所述反射片,另一端连接所述支架的侧臂;压电片,其设置在所述支架的侧臂上,用于在电场作用下产生逆压电效应,从而驱动反射片旋转。 |
地址 |
215163 江苏省苏州市科技城科灵路88号 |