| 发明名称 | 物镜中光学元件的保持器件 | ||
| 摘要 | 一种物镜(1)中光学元件(5)的保持器件(6)，具有一方面与物镜(1)连接、另一方面至少间接地与光学元件(5)连接的底座(4)。在底座(4)与光学元件(5)之间设置有加固元件(8)，它的热膨胀系数大致对应于光学元件(5)的热膨胀系数。 | ||
| 申请公布号 | CN1906541A | 申请公布日期 | 2007.01.31 |
| 申请号 | CN200480040835.4 | 申请日期 | 2004.11.22 |
| 申请人 | 卡尔蔡司SMT股份公司;ASML荷兰有限公司 | 发明人 | B·格尔里希;A·武姆布兰德;J·库格勒;A·舍帕赫;C·詹格林;S·布鲁努格赫 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01) | 主分类号 | G03F7/20(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 温大鹏 |
| 主权项 | 1.一种物镜(1)中光学元件(5)的保持器件(6)，所述保持器件(6)具有一方面与所述物镜(1)连接，另一方面至少间接地与所述光学元件(5)连接的底座(4)，在所述底座(4)与所述光学元件(5)之间设置有加固元件(8)，所述加固元件的热膨胀系数大致对应于所述光学元件(5)的热膨胀系数。 | ||
| 地址 | 德国上科亨 | ||