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发明名称 Use of a corrosion-resistant member
摘要
申请公布号 EP1120817(B1) 申请公布日期 2007.05.02
申请号 EP20010107373 申请日期 1992.03.26
申请人 NGK INSULATORS, LTD. 发明人 USHIKOSHI, RYUSUKE;NOBORI, KAZUHIRO;NIORI, YUSUKE;UMEMOTO, KOICHI;KOBAYASHI, HIROMICHI;HONDA, TOSHIHIKO;KAWABATA, KENJI
分类号 H01L21/00;C04B35/581;C04B41/50;C04B41/85;C23C16/44;C23C16/458;H01L21/683 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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