发明名称 芯片封装结构制造方法
摘要 一种芯片封装结构制造方法,其特征在于:利用一个或多个图案化模板于载板上制作内外层线路,并可重复步骤以形成堆栈结构,最后在填充保护层后移除载板。本发明利用模板为罩幕来制造线路,可达到提高制作效率及简化制作流程之功效,且移除后之载板可回收重复使用,大幅降低生产成本。
申请公布号 CN101079384A 申请公布日期 2007.11.28
申请号 CN200610060704.3 申请日期 2006.05.22
申请人 张文崟 发明人 张文崟
分类号 H01L21/60(2006.01);H01L21/56(2006.01) 主分类号 H01L21/60(2006.01)
代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司 代理人 郑小粤
主权项 1、一种芯片封装结构制造方法,其特征在于,包含:提供一载板,其上放置一第一图案化模板并露出部分所述载板;形成至少一导电层于所述露出之部分载板;移除所述第一图案化模板;放置一第二图案化模板于所述载板上,并露出部分所述导电层与所述载板之至少任一;形成一金属层于所述露出的导电层与所述载板之至少任一;移除所述第二图案化模板;设置至少一芯片于部分所述金属层,且电性连接所述芯片与所述金属层;形成一保护层包覆该芯片;以及移除所述载板。
地址 台湾省宜兰县五结乡二结村12邻双结路21号