发明名称 触媒の吸着処理方法および吸着処理装置
摘要 A catalyst adsorption method can sufficiently adsorb a catalyst to a lower portion of a recess formed in a substrate. A substrate 20 in which a recess 22 is formed is prepared. Then, a catalyst 23 formed of nanoparticles coated with a dispersant is adsorbed to a surface of the substrate 20 by bringing the substrate 20 into contact with a catalyst solution 12 containing the catalyst by a catalyst adsorption device 10. At that time, a high frequency vibration is applied to the catalyst solution 12.
申请公布号 JP5897425(B2) 申请公布日期 2016.03.30
申请号 JP20120176343 申请日期 2012.08.08
申请人 学校法人 関西大学;東京エレクトロン株式会社 发明人 新宮原 正 三;井 上 史 大;三 宅 浩 志;有 馬 良 平;岩 下 光 秋;田 中 崇
分类号 C23C18/18 主分类号 C23C18/18
代理机构 代理人
主权项
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