Läuferscheibe, Verfahren zur Beschichtung einer Läuferscheibe sowie Verfahren zur gleichzeitigen beidseitigen Material abtragenden Bearbeitung von Halbleiterscheiben

摘要

Läuferscheibe, geeignet zur Aufnahme einer oder mehrerer Halbleiterscheiben zu deren beidseitigen Bearbeitung in Läpp-, Schleif- oder Poliermaschinen, umfassend einen Kern aus einem ersten Material, das eine hohe Steifigkeit aufweist, der vollständig oder teilweise mit einem zweiten Material beschichtet ist, sowie wenigstens eine Aussparung zur Aufnahme einer Halbleiterscheibe, dadurch gekennzeichnet, dass es sich beim zweiten Material um ein duroplastisches Polyurethan-Elastomer mit einer Härte von 60–80 nach Shore A handelt.