一种对准光纤的方法和器件

摘要

本发明涉及一种用于被动地定位至少一个放在基片上的光纤和至少一个光学元件的方法。基片上有一埋入的腐蚀阻挡层。然后在基片上蚀刻一些U型槽图案，槽的深度与覆盖埋入的腐蚀阻挡层的材料厚度一致，槽在基片上的位置对准光学元件。光纤布置并固定在U型槽内。本发明还涉及用所述方法生产的器件。

主权项

1.一种用于被动地定位至少一个放在基片上的光纤和至少一个光学元件的方法，所述方法包括以下步骤：对一个具有埋入的腐蚀阻挡层的基片进行图案加工；在所述基片上蚀刻出具有垂直侧壁和垂直端面的U型槽图案，所述U型槽图案包括至少一个相互平行的第一U型槽和至少两个第二U型槽，该第二U型槽沿第一U型槽的长度分布并与第一U型槽正交地形成，所述第一和第二U型槽的深度和覆盖埋入的腐蚀阻挡层的材料厚度一致，所述第一U型槽在基片上的位置与所述光学元件对准；将光纤布置在第一U型槽中，并将所述光纤固定在所述第一U型槽中。