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发明名称 HEATER ASSEMBLY OF HEAT TREATMENT EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR20060000146(U) 申请公布日期 2006.12.20
申请号 KR20060029165U 申请日期 2006.11.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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