PROVING CHAMBER

摘要

본 발명의 실시예에 따른 프로빙 챔버는 척; 상기 척 상에 배치되어 하나 이상의 대상물이 놓일 수 있는 대상물 거치부; 챔버 내부 공간에 노출된 대상물에 접촉하여 프로빙 신호를 공급하는 프로브; 및 상기 대상물 거치부에 연결되어 상기 프로브가 상기 대상물에 접촉가능하도록 상기 대상물 거치부를 움직이는 암을 포함한다.