| 发明名称 | 显微镜和试料观察方法 | ||
| 摘要 | 本发明的显微镜和试料观察方法，对于检查对象的半导体器件S，设置：图像取得部(1)、包含物镜(20)的光学系统(2)、和可在包含从半导体器件(S)向物镜20的光轴的插入位置与偏离光轴的待机位置之间移动的固态浸没透镜(SIL3)。而且，以两种控制模式进行观察：第一模式，将(SIL3)配置在待机位置，根据半导体器件(S)的基板的折射率(n<SUB>0</SUB>)和厚度(t<SUB>0</SUB>)修正焦点和像差；第二模式，将(SIL3)配置在插入位置，根据基板的折射率(n<SUB>0</SUB>)、厚度(t<SUB>0</SUB>)、(SIL3)的折射率(n<SUB>1</SUB>)、厚度(d<SUB>1</SUB>)和曲率半径(R<SUB>1</SUB>)，修正焦点和像差。由此，可获得易于对半导体器件的微细构造进行解析等必要的试料观察的显微镜和试料观察方法。 | ||
| 申请公布号 | CN1906520A | 申请公布日期 | 2007.01.31 |
| 申请号 | CN200580001606.6 | 申请日期 | 2005.02.25 |
| 申请人 | 浜松光子学株式会社 | 发明人 | 寺田浩敏;荒田育男;常盘正治;田边浩;坂本繁 |
| 分类号 | G02B21/00(2006.01) | 主分类号 | G02B21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 1.一种显微镜，在规定的观察面上观察试料，其特征在于，具备：包含物镜，引导所述试料图像的光学系统；用于驱动所述物镜，对所述试料进行调焦和像差修正的物镜驱动构件；设置在包含从所述试料向着所述物镜的光轴的位置的固态浸没透镜；和控制所述物镜驱动构件的控制构件，所述控制构件具有固态浸没透镜模式作为控制模式，该固态浸没透镜模式在根据所述试料的折射率n0、厚度t0、所述固态浸没透镜的折射率n1、厚度d1和曲率半径R1设定的修正条件下，进行调焦和像差修正。 | ||
| 地址 | 日本静冈县 | ||