石英坩埚熔制机的埚体

摘要

石英坩埚熔制机的埚体，涉及用于拉制电子半导体单晶硅的石英玻璃坩埚技术，特别是坩埚的生产技术设备。包括金属埚体，在金属埚体的侧壁和底部分部通孔，在各通孔内设置过滤件，在各通孔与埚体外的抽气装置之间连接通气道，各通气道连接在金属埚体的外侧壁上。在金属埚体的外侧壁的通气道不但可起到连通通孔和抽气装置的作用，其用材可大大减少，而且，在金属埚体外侧壁形面的凸起，可起到对金属埚体加强筋的作用。本实用新型另一效果是，在各通气道之间的金属埚体直接可与外侧的环境介质进行热交换，利于金属埚体的快速降温。另，在各通孔内设置过滤件，使小于空气直径的石英砂被阻挡在通孔内，对真空泵起到保护作用。

主权项

权利要求书1、石英坩埚熔制机的埚体，包括金属埚体，在金属埚体的侧壁和底部分部通孔，各通孔与埚体外的抽气装置连接，其特征在于在各通孔内设置过滤件，在各通孔与埚体外的抽气装置之间连接通气道，各通气道连接在金属埚体的外侧壁上。