发明名称 |
非等平面螺旋电感 |
摘要 |
一种集成电路中的非等平面螺旋电感,所述螺旋电感中的至少一圈金属螺旋线圈与其余任一金属螺旋线圈处于不同平面,处于不同平面的线圈在不同高度的介质层上实现。本实用新型的非平面螺旋电感与传统结构平面电感相比,高频时涡流效应和邻近效应影响降低,导致串联电阻Rs下降,从而提高电感的品质因子Q值;制备工艺与常规的CMOS工艺兼容;能改善CMOS射频前端的重要功能单元的性能。 |
申请公布号 |
CN200983296Y |
申请公布日期 |
2007.11.28 |
申请号 |
CN200620042881.4 |
申请日期 |
2006.06.19 |
申请人 |
上海集成电路研发中心有限公司;华东师范大学 |
发明人 |
石艳玲;王勇;唐深群;朱骏;陈寿面;赵宇航 |
分类号 |
H01F17/04(2006.01) |
主分类号 |
H01F17/04(2006.01) |
代理机构 |
上海智信专利代理有限公司 |
代理人 |
王洁 |
主权项 |
权利要求书1、非等平面螺旋电感,其特征在于:所述螺旋电感中的至少一圈金属螺旋线圈与其余任一金属螺旋线圈处于不同平面,处于不同平面的线圈在不同高度的介质层上实现。 |
地址 |
200070上海市张江高科技园区碧波路177号华虹科技园4楼 |